Disiliciure de tungstène

	Disiliciure de tungstène
	__ W __ Si; Structure cristalline du disiliciure de tungtène
Identification
No CAS	12039-88-2
No ECHA	100.031.723
No CE	234-909-0
PubChem	16212546
SMILES
InChI
Propriétés chimiques
Formule	WSi2
Masse molaire	240,01 ± 0,01 g/mol ; Si 23,4 %, W 76,6 %,
Propriétés physiques
T° fusion	2 165 °C
Solubilité	insoluble dans l'eau
Masse volumique	9,4 g·cm-3 à 20 °C
Composés apparentés
Autres cations	Disiliciure de molybdène
	Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.
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Le disiliciure de tungstène est un composé chimique de formule WSi₂. Il s'agit d'une céramique réfractaire semiconductrice de couleur bleu-gris^[3], obtenue notamment en faisant réagir de l'hexafluorure de tungstène WF₆ avec du silane SiH₄, du dichlorosilane SiH₂Cl₂ ou du disilane Si₂H₆^[4] :

2 SiH₄ + WF₆ ⟶ WSi₂ + 6 HF + H₂ ;

2 SiH₂Cl₂ + WF₆ + 3 H₂ ⟶ WSi₂ + 6 HF + 2 HCl ;

Si₂H₆ + WF₆ ⟶ WSi₂ + 6 HF.

Il est utilisé comme matériau de contact dans l'industrie des semiconducteurs, où il est appliqué par dépôt chimique en phase vapeur^[5] (CVD).

Notes et références

↑ Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
↑ ^{a et b} « Fiche du composé Tungsten silicide, 99.995% (metals basis excluding Mo), Mo <20ppm », sur Alfa Aesar (consulté le 20 décembre 2018).
↑ (en) W. M. Haynes, CRC handbook of chemistry and physics. A ready-reference book of chemical and physical data, David R. Lide, 93^e édition, CRC Press, Boca Raton, 2012, p. 4-96. (ISBN 978-1-4398-8049-4)
↑ (en) Hugh O. Pierson, Handbook of Chemical Vapor Deposition. Principles, Technology and Applications, William Andrew, Elsevier Science, 1999, p. 332. (ISBN 0-8155-1743-2)
↑ (en) R. A. Levy, Microelectronic Materials and Processes, Springer, 1989, p. 204, 237 sqq.. (ISBN 0-7923-0154-4)