エアフィルタ(Air filter)とは、空気中からゴミ、塵埃などを取り除き、清浄空気にする目的で使用するものである。
用途
粗塵用フィルタ
主に50μm以上の粒子をターゲットとしたフィルタ。一般空調用ではプレフィルタとしてよく用いられる。
効率表示は重量法(JIS参照)で表現される。
中高性能フィルタ
主に25μm以上の粒子をターゲットとしたフィルタ。
効率表示は比色法(JIS参照)で表現される。
HEPAフィルタ
一般に病院や食品、医療分野のクリーンルームへ供給されるクリーンエアーのファイナルフィルタとして用いられる。対象粒子径は0.3μm以上をターゲットとしており、99.99%、99.97%、95%の凡そ3種類がある。
また、原子力発電所の空調でも使用されており、主な目的は、放射性核種の付着した塵の除去である。放射性核種自体はチャコールフィルターで除去されるため、空気清浄機でHEPAフィルターを内蔵したものでも放射線除去効果などはないが、放射性核種の付着した塵を除去する効果は期待できる。
効率表示は計数法(JIS参照)で表現される。
ULPAフィルタ
主にインダストリークリーンルームへ供給されるファイナルフィルタとして用いられる。現在はSMIF方式のクリーンルームが一般的である為、半導体の生産装置に附属されるケースが多く見受けられる。
効率表示は凡そ計数法(JIS参照)で表現される。
ガス除去フィルタ(化学吸着フィルタ)
美術館や博物館のコロージョンコントロール(美術品等の腐食制御)やインダストリークリーンルームにおいてはシリコンウェハーや液晶フィルムに対しての汚染制御に用いられる。
活性アルミナにガス除去成分を溶着した物が一般的であるが、現在は純水をエアワッシャ方式の空調機内で噴霧し、その名の如くエア(空気)を洗う方法で供給空気中のガス成分を除去するケースも多いが水溶性のガスしか除去できない。
性能
圧力損失、効率(粉塵捕集率)などが性能指標として使われる。
日本のエアフィルタ メーカー
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日本のガス除去フィルタ メーカー
関連項目