Ошмянский уезд в составе Виленской губернии Российской империи был образован в 1795 году на территории, отошедшей к России в результате 3-го раздела Речи Посполитой. В 1797 году уезд вошёл в состав Литовской губернии, в 1801 — в состав Литовско-Виленской (с 1840 — Виленской).
В «Военно-статистическом обозрении Российской империи. Том IX. Часть 2. Виленская губерния»: Ошмянский уезд описывается следующим образом:
«Ошмянский уезд разделяется на 4 стана; государственные имения на 7 волостей. Становые пристава помещаются: 1-го стана — в м. Жупранах, 2-го в м. Сморгонь, 3-го в м. Дзевенишах, 4-го в Воложине, волостные управления: в г. Ошмянах, в м. Дзевенишках, Трабах, Бакштах, Лоше, Креве и Сморгонах; в них всего 11 740 душ мужского пола»[2].
Население
По данным приходских списков 1857 года в уезде проживало 128,666 тыс. чел. В том числе литовцы — 50,6 % , белорусы — 21,3 % , поляки — 16,0 %.
По данным переписи 1897 года в уезде проживало 233,6 тыс. чел. В том числе белорусы — 80,0 %; евреи — 12,1 %; литовцы — 3,7 %; русские — 2,3 %; поляки — 1,7 %. В уездном городе Ошмяны проживало 7214 чел.[3]