Утворена в 1795 після третього поділуРечі Посполитої і приєднання до Російської імперії західнобілоруських і литовських земель. Спочатку поділялася на Браславський (згодом Новоолександрівський), Віленський, Вількомірський, Завілейський, Ковенський, Ошмянський, Росієнський, Тельшевський, Трокський, Упітський (Поневежський), Шавельський повіти. В ході адміністративно-територіальних реформ Павла I по указу від 12 грудня 1796 в 1797 об'єднана зі Слонімським намісництвом в одну Литовську губернію з губернським правлінням, яке розміщувалося в Вільнюсі.
При Олександрі I Литовська губернія в 1801 розділена на Віленськую губернію (до 1840 називалася Литовсько-Віленською губернією) і Гродненську губернію (колишня губернія Слонімська).
В 1843 частина території увійшла до складу знов утвореної Ковенської губернії. У складі Віленської губернії залишилися Віленський, Ошмянський, Свенцянський (Завілейський) і Трокський повіти, а також передані з Гродненської губернії Лідський і з Мінської губернії — Вілейський і Дисненський повіти.
Згідно з переписом Німеччини 1916 р. (під час німецької окупації) майже 60% намісництв складали поляки, 20%-литовці, близько 15-20%-євреї, решта залишилися (у тому числі не більше 1-2% росіяни). У Вільнюсі також домінували поляки, за ними йшли євреї, а литовці не перевищували 1%. Після 1918 р., та перемоги поляків у польсько-більшовицькій (польсько-радянській) війні 1920 р., Віленський край належала Польщі, польські переписи населення (перше населення Віленщини 1919 р. і наступне населення Польщі 1931 р.) показали, що в цьому регіоні панувало польське населення та Польська мова.
Населення губернії, оцінене німцями та поляками в 1916 і 1919 році:
Повіт
Білоруси
Литовці
Євреї
Поляки
Росіяни
Українці
Місто Вільно
1,5%
1%
40,3%
54,1%
2,3%
0,4%
Віленський
3,1%
12,2%
3,6%
78%
1,4%
0,7%
Вілейський
51,8%
0,1%
4,4%
43,2%
0,1%
0,2%
Дісненський
53,6%
0,3%
7,1%
36,7%
1,7%
0,1%
Лідський
11,2%
3,8%
3%
80,5%
0,3%
1,1%
Ошмянський
14%
2,3%
7,7%
74,8%
0,1%
0,8%
Свенцянський
7,4%
35,6%
6,5%
47,1%
0,2%
0,1%
Трокський
2%
13,3%
2,2%
82,4%
0,05%
0,05%
Браславський
22,3%
3,7%
7,4%
61,3%
4,4%
0,3%
<50% - найбільша етнічна група, що становить менше половини всього населення (47,1% П)
>50%- найбільша етнічна група, яка становить більше половини всього населення (54,1% П - 78% П - 51,8% Б - 53,6% Б - 80,5% П - 74,8% П - 82,4% П - 61,3% П)
Перепис польського віленського воєводства 1931 р. (Лідський повіт тоді належав Новогрудському воєводству), за даними перепису в Польщі:
Повіт
Білоруси
Литовці
Євреї
Поляки
Інші
Місто Вільно
0,9%
0,8%
28%
66%
4,4%
Віленсько-трокський
2,6%
7,9%
3%
84,1%
2,3%
Вілейський
49,1%
<0,01%
4,5%
45,4%
1%
Дісненський
50%
0,1%
7,4%
39%
3,6%
Ошмянський
9,7%
1,5%
6,4%
81,2%
1,2%
Свенцянський
5,9%
31,5%
5,6%
50,2%
6,8%
Браславський
16,1%
2,4%
5%
65,6%
10,8%
Поставський
47,8%
<0,01%
2,7%
48%
1,5%
Молодечанський
53,7%
<0,01%
6,3%
38,9%
1,1%
Лідський повіт у Новогрудському воєводстві: Поляки - 83,6%, Білоруси - 10,8%, інші - 5,6% (переважно євреї та литовці і в меншій мірі росіяни та українці).
Тоді українці могли становити 0,5-2% від усього населення у всьому регіоні.