二次電子二次電子(Secondary electrons),又称次级电子,是描述物體表面被一主要輻射照射後,發射出的低能量產物電子。该主要輻射可以是具有足夠能量的離子、電子或是光子。二次電子屬於二次發射的一種。 原理電子在固體裡的非彈性平均自由徑(inelastic mean free path) 通常是具有普遍性,也就是說無關於甚麼材料[1]。這個距離對金屬來說,通常是在幾奈米內;對絕緣體來說,在十幾奈米內,一般来说距离越小测量精度越高[2][3]。而對低能量的電子(< 5eV)來說,則有更長的平均自由徑。 應用二次電子的原理被應用在電子倍增管、光電倍增管、微通道板、法拉第杯與戴利偵測器等偵測元件,也用在掃描電子顯微鏡。 另见參考文獻
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