MEMS

Tungau dengan ukuran kurang dari 1 mm berada pada peralatan MEMS

MEMS (singkatan dari Micro Electro Mechanical Systems; Sistem Mekanik Elektro Mikro) adalah struktur peralatan elektro-mekanik yang terdiri dari sensor mikro, aktuator mikro, dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian sirkuit terpadu. Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah silikon.

Contoh aktuator mikro yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro, pemancar (jet) mikro, dan motor ukuran mikro. Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah sensor tekanan, sensor temperatur, dan sensor aliran dalam ukuran mikro. Dengan teknologi ini, pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai "Lab on Chip". Contoh dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai DNA chip.

Sejarah

Contoh awal dari perangkat MEMS adalah transistor gerbang resonansi, sebuah adaptasi dari transistor MOS yang dikembangkan oleh Harvey C. Nathanson pada tahun 1965.[1] Contoh awal lainnya adalah resonistor, sebuah resonator monolitik elektromekanis yang dipatenkan oleh Raymond Wilfinger antara tahun 1966 dan 1971.[2][3] Pada tahun 1970-an dan awal 1980-an, beberapa mikrosensor pada MOSFET dikembangkan untuk mengukur parameter fisik, kimia, biologi, dan lingkungan.[4] Pada tahun 1997, produk komersial pertama yang menggunakan teknologi MEMS diperkenalkan: kartrid printer inkjet yang diproduksi oleh Hewlett-Packard.[5]

Jenis

Ada dua jenis utama teknologi sakelar MEMS: kapasitif dan ohmik. Sakelar MEMS kapasitif dirancang menggunakan pelat bergerak atau elemen penginderaan yang mengubah kapasitansi. Sakelar ohmik dikendalikan oleh kantilever yang digerakkan secara elektrostatis Sakelar MEMS ohmik dapat rusak karena kelelahan logam aktuator MEMS-(kantilever) dan keausan kontak karena kantilever dapat berubah bentuk dari waktu ke waktu.[6]

Referensi

  1. ^ "A resonant‐gate silicon surface transistor with high‐q band‐pass properties". pubs.aip.org. Diakses tanggal 2023-10-13.
  2. ^ "Electromechanical monolithic resonator". patents.google.com. Diakses tanggal 2023-10-13.
  3. ^ "The Resonistor: A Frequency Selective Device Utilizing the Mechanical Resonance of a Silicon Substrate". ieeexplore.ieee.org. Diakses tanggal 2023-10-13.
  4. ^ "The impact of MOSFET-based sensors". www.sciencedirect.com. Diakses tanggal 2023-10-13.
  5. ^ "Why MEMS Matter: The Tiny Tech Transforming Our World". partstack.com. Diakses tanggal 2023-10-13.
  6. ^ "MEMS technology is transforming high-density switch matrices". www.electronicdesign.com. Diakses tanggal 2023-10-13.

Content Disclaimer

Informasi ini disarikan dari Wikipedia dan disajikan kembali untuk tujuan edukasi. Konten tersedia di bawah lisensi CC BY-SA 3.0. Kami tidak bertanggung jawab atas ketidakakuratan data yang bersumber dari kontribusi publik tersebut.

  1. The information displayed on this website is sourced in part or in whole from Wikipedia and has been adapted for the purpose of restating it. We strive to provide accurate and relevant information, however:
  2. There is no guarantee of absolute accuracy. Wikipedia is an open, collaborative project that can be edited by anyone, so information is subject to change.
  3. It is not intended to constitute professional advice. The content displayed is for informational and educational purposes only. For important decisions (e.g., medical, legal, or financial), please consult a professional.
  4. Content copyright. Wikipedia is licensed under the Creative Commons Attribution-ShareAlike License (CC BY-SA). This means that content may be reused with appropriate attribution and shared under a similar license.
  5. Responsible use. Any risk arising from the use of information from this website is entirely the responsibility of the user.