二氯硅烷
二氯硅烷,缩写DCS,是一种无机化合物,化学式为SiH2Cl2。 制备二氯硅烷可由硅烷和氯化氢按化学计量比在三氯化铝催化剂的存在下反应制备:[2] 它也可以利用三氯硅烷来制备:[3]
化学性质二氯硅烷遇水水解,产生多聚硅氧烷(-H2Si-O-)n;和氨反应氨解,产生(-H2SiNH-)n[2]。 用途二氯硅烷可以用来做微电子里的半导体硅层的起始物料,其优点是它在较低温度可以分解,并且有较高的硅晶体生长速率。[3] 安全风险二氯硅烷是一种化学性质活泼的气体,在空气中可以迅速水解并自燃。它的毒性也很大,利用它的任何实验都需要有保护性措施。[4]其安全风险还包括皮肤和眼睛的刺激与吸收。[5] 参考资料
|
Index:
pl ar de en es fr it arz nl ja pt ceb sv uk vi war zh ru af ast az bg zh-min-nan bn be ca cs cy da et el eo eu fa gl ko hi hr id he ka la lv lt hu mk ms min no nn ce uz kk ro simple sk sl sr sh fi ta tt th tg azb tr ur zh-yue hy my ace als am an hyw ban bjn map-bms ba be-tarask bcl bpy bar bs br cv nv eml hif fo fy ga gd gu hak ha hsb io ig ilo ia ie os is jv kn ht ku ckb ky mrj lb lij li lmo mai mg ml zh-classical mr xmf mzn cdo mn nap new ne frr oc mhr or as pa pnb ps pms nds crh qu sa sah sco sq scn si sd szl su sw tl shn te bug vec vo wa wuu yi yo diq bat-smg zu lad kbd ang smn ab roa-rup frp arc gn av ay bh bi bo bxr cbk-zam co za dag ary se pdc dv dsb myv ext fur gv gag inh ki glk gan guw xal haw rw kbp pam csb kw km kv koi kg gom ks gcr lo lbe ltg lez nia ln jbo lg mt mi tw mwl mdf mnw nqo fj nah na nds-nl nrm nov om pi pag pap pfl pcd krc kaa ksh rm rue sm sat sc trv stq nso sn cu so srn kab roa-tara tet tpi to chr tum tk tyv udm ug vep fiu-vro vls wo xh zea ty ak bm ch ny ee ff got iu ik kl mad cr pih ami pwn pnt dz rmy rn sg st tn ss ti din chy ts kcg ve