該名詞起源於1969年,由Jack E. Myers所提出的.metadata即關於資料的資料(data-about-data),可以說是一種標準,是為支援互通性的資料描述,所取得一致的準則。其基本定義出自OCLC與NCSA所主辦的「Metadata Workshop」研討會。它將metadata定義為「描述資料的資料」(data about data)。此後各種有關Metadata的定義紛紛的出現。現存很多metadata的定義,主要視特定社群或使用情境而不同。如有有關資料的資料(data about data),有關資訊物件之結構的資訊(structured information about an information object),描述資源屬性的資料(Data describes attributes of resources)等。
都柏林核心集(Dublin Core Metadata Initiative,DCMI)是後設資料的一種應用,在1995年2月由國際圖書館電腦中心(OCLC)和美國國家超級計算應用中心(National Center for Supercomputing Applications,NCSA)聯合贊助的研討會上,52位來自圖書館学、计算机、网络等方面专家共同制定。
後設資料可以在被稱作後設資料註冊中心或後設資料註冊處的資料庫中儲存和管理[14]。不過,如果沒有文字和參考點的話,單純看是很難辨認這些後設資料的[15]。舉例來說:一個資料庫本身會包含一些數字,但是這些數字代表的涵義可能是某些計算後的結果,或者是書籍的ISBN碼──這就需要參考才能知道,而無法直接由資料容器內部得知。菲利普·巴格利在1968年在他的著作《Extension of Programming Language Concepts》中發明了「metadata」這個詞,當時的意思為「描述資料容器的資料」,也就是結構性後設資料,而非描述性後設資料或常用於圖書館目錄的後設內容(metacontent)[16][17]。自那時起,資訊管理、資訊科學、資訊技術、圖書館學與地理資訊系統等領域廣泛接受了這個詞彙。在這些領域中,後設資料的定義為「描述資料的資料」[18]。儘管這是最廣為接受的定義,許多學科也為了自用而採用了特殊的解釋或定義。
IPTC Information Interchange Model IIM (International Press Telecommunications Council),
IPTC Core Schema for XMP
XMP – Extensible Metadata Platform (an ISO standard)
Exif – Exchangeable image file format, Maintained by CIPA (Camera & Imaging Products Association) and published by JEITA (Japan Electronics and Information Technology Industries Association)
^Preservation Events Controlled Vocabulary(PDF). Library of Congress. [2023-07-15]. (原始内容存档(PDF)于2023-08-25). Preservation events record activities that affect the long term preservation of digital objects.
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^Data and Metadata Reporting and Presentation Handbook(PDF). OECD. [2023-07-15]. (原始内容存档(PDF)于2023-07-15). Structural metadata are metadata that act as identifiers and descriptors of the data. Context: Structural metadata are needed to identify, use and process data matrixes and data cubes, e.g. names of columns or dimensions of statistical cubes. Structural metadata must be associated with the statistical data, otherwise it becomes impossible to identify, retrieve and navigate the data……Reference metadata describe the contents and the quality of the statistical data. Context: Preferably, reference metadata should include all of the following: a) conceptual metadata describing the concepts used and their practical application, allowing users to understand what the statistics are measuring and, thus, their fitness for use; b) methodological metadata describing methods used for the generation of the data (e.g. sampling, collection methods, editing processes); c) quality metadata describing the different quality dimensions of the resulting statistics (e.g. timeliness, accuracy).